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芯片制造关键设备再突破:离子注入机实现全谱系产品国产化

芯片制造关键设备再突破。记者17日从中国电子科技集团有限公司获知,该集团旗下装备子集团已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

芯片制造关键设备再突破。记者17日从中国电子科技集团有限公司获知,该集团旗下装备子集团已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能,这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中,离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。

装备子集团相关负责人表示,下一步,企业将瞄准高端,紧跟先进工艺发展,加速研发适用于更先进工艺节点的离子注入机并积极推动产业化。

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