微导纳米：前三季度营收超10亿元 同比增长165.3%

10月30日晚，微导纳米发布2023年三季度报告。报告显示，公司2023年前三季度实现营收10.22亿元，同比增长165.3%;归母净利润为1.55亿元，同比增加1.58亿元。其中，第三季度归母净利润达0.87亿元，同比增长140.32%。

微导纳米表示，公司营业收入快速增长主要系在手订单陆续实现收入转化，专用设备产品验收数量增长所致。截至三季度末，微导纳米在手订单约70.82亿元，同比增长258.58%。其中，半导体设备在手订单同比增长412.15%，光伏在手设备订单同比增长244.32%。

深耕薄膜沉积设备

薄膜沉积设备是半导体晶圆制造的三大核心设备之一，产品具有技术壁垒高、研发投入高、技术更新迭代快、客户认证周期长等特征，其中的原子层沉积(ALD)设备、化学气相沉积(CVD)设备等均具有较高技术含量。

公开资料显示，微导纳米是国内领先的半导体薄膜沉积设备供应商，专注于ALD技术的研发及应用场景拓展，形成了以ALD技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，布局逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等细分应用领域，并在各细分领域持续获得行业知名客户订单。

技术平台化布局初见成效

基于深厚的技术积累，微导纳米还将薄膜沉积技术灵活协同应用，创新将ALD技术规模化应用于光伏领域，目前已发展成为行业内高效电池技术与设备供应商。

在本轮TOPCon电池扩产中，微导纳米与行业多家头部客户共同合作，充分发挥了ALD设备的竞争力优势，产品市占率领先。同时自主研发并率先引入了半导体级的单面镀膜PEALD，管式PECVD氧化与原位掺杂多晶硅等一系列镀膜新技术，开发了行业内首条GW级PE-PolyTOPCon电池工艺整线并推出二代工艺。根据公开信息，微导纳米已获得多个TOPCon整线工艺和PE-Poly设备订单，光伏设备订单结构日趋多元化，对主要工艺环节实现了全覆盖。

新一代高效电池技术设备方面，公司积极布局，储备未来增长点，已出货XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术的设备，并根据其量产节奏完善相关的技术储备和产品，为光伏电池技术的产业化提供更多技术选择。

此外，微导纳米持续完善技术性平台建设，依托产业化应用中心平台探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机会，平台化布局初见成效。

来源：中国证券报·中证网 作者：董安琪

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